產(chǎn)品列表 / products
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簡(jiǎn)要描述：硅片厚度傳感器（SIT-200）中與寬帶光源不同，SIT-200使用高速掃描可調(diào)諧激光器探測(cè)被測(cè)晶圓。這使得每波長(zhǎng)的功率測(cè)量更高，從而產(chǎn)生更高的動(dòng)態(tài)范圍。
產(chǎn)品型號(hào)：
所屬分類(lèi)：光電常用設(shè)備
更新時(shí)間：2024-12-16
硅片厚度傳感器（SIT-200）中與寬帶光源不同，SIT-200使用高速掃描可調(diào)諧激光器探測(cè)被測(cè)晶圓。這使得每波長(zhǎng)的功率測(cè)量更高，從而產(chǎn)生更高的動(dòng)態(tài)范圍。結(jié)果，例如在濕蝕刻期間/之后，甚至可以在未拋光的晶圓上執(zhí)行厚度測(cè)量。
硅片厚度傳感器（SIT-200）的主要特點(diǎn)有：
硅片厚度傳感器（SIT-200）的主要特點(diǎn)有：
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